Anhui Bowei — компания, специализирующаяся на разработке течеискателей масс-спектрометров гелия и систем обнаружения утечек гелия с использованием гелия в качестве газа-индикатора для обнаружения утечек. Помимо высокой чувствительности, этот прибор также обладает преимуществами широкого диапазона адаптации, точного позиционирования и количественной оценки, нетоксичности, безопасности и высокой скорости реакции. Гелий обычно выбирается в качестве газа-индикатора в системе обнаружения утечек масс-спектрометра по следующим причинам:
1. Содержание гелия в воздухе и остаточном газе вакуумной системы очень мало (около 5,2 ppm в воздухе), и оно также очень мало в выходном газе материала, поэтому фоновое давление мало, а выходной фоновый ток мал. Поскольку фон мал, флуктуация фона вызвана некоторыми причинами, то есть фоновый шум мал, поэтому небольшая скорость утечки может быть отражена, а чувствительность высока.
2.Гелий имеет небольшую массу (относительная молекулярная масса 4) и легко проходит через отверстия утечки. Таким образом, гелий имеет большую скорость утечки, чем другие газы, за исключением водорода, через то же самое отверстие утечки, которое легко обнаружить и имеет высокую чувствительность.
3. Гелий — инертный газ, не вступает в реакцию со стенкой проверяемой детали, не загрязняет проверяемую деталь, безопасен в использовании.
4. По обе стороны от гелия находятся водород (отношение массы к заряду 2) и двухзарядный атом углерода (отношение массы к заряду 6), оба из которых сильно отличаются от гелия. Таким образом, их радиус отклонения в анализаторе также большой, легко разделяется, калибруется для нахождения пика гелия, не подвержен влиянию других ионов, поэтому он снижает требования к точности изготовления анализатора, прост в обработке. В то же время зазор между выходным электродом анализатора и полюсом ускорителя источника ионов также может быть увеличен, чтобы позволить большему количеству ионов гелия проходить и повышать чувствительность прибора.
5.гелий нелегко адсорбировать в испытательной и вакуумной системе. Таким образом, обнаружение отверстия утечки может привести к быстрому исчезновению сигнала гелия, чтобы обнаружение утечки могло продолжаться, и повысить эффективность обнаружения утечек прибора.
6. Некоторые свойства водорода (например, малая масса и легкая проницаемость через отверстия для утечек) лучше, чем у гелия, однако, с одной стороны, водород взрывоопасен, с другой стороны, в масляном диффузионном насосе из-за термического крекинга масла будет образовываться большое количество углерода и водорода, так что фон водорода будет чрезвычайно высоким, а колебания большими, так что чувствительность значительно снижена, поэтому он редко используется.
