เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของสเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียมเป็นเครื่องมือตรวจจับการรั่วไหลแบบพิเศษที่ใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซรั่วเพื่อค้นหา หาปริมาณ และตรวจจับการรั่วไหลเล็กๆ น้อยๆ ของอุปกรณ์สูญญากาศและอุปกรณ์ปิดผนึกในเชิงคุณภาพ มันมีลักษณะของประสิทธิภาพที่มั่นคง, ความไวสูง, ใช้งานง่าย, การดำเนินงานที่สะดวกและการตรวจจับอย่างรวดเร็ว เป็นเครื่องมือตรวจจับการรั่วไหลที่มีความไวสูงในเทคโนโลยีการตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศและมีการใช้กันอย่างแพร่หลาย